超高純凈膜片式瓶閥是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)研究開(kāi)發(fā)的新產(chǎn)品。英國(guó)專(zhuān)利技術(shù)，專(zhuān)為超高純氣體鋼瓶而設(shè)計(jì)，能有效杜絕泄漏，確保氣體純凈。

特性：

• 有手動(dòng)和氣動(dòng)兩種形式可選，二者基于同一母體設(shè)計(jì)
• 適用于大多數(shù)特種氣體，包括各種濃度的氧氣和高腐蝕性氣體（如氯氣和氯化氫等各種流體）
• 在符合超高純標(biāo)準(zhǔn)的潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)制造，10等級(jí)潔凈室裝配、測(cè)試
• 經(jīng)由氦氣質(zhì)譜儀100%泄漏測(cè)試
• 一體式無(wú)焊接結(jié)構(gòu)膜片，有效將氣體和運(yùn)動(dòng)機(jī)械部件隔離，延長(zhǎng)使用壽命
• 閥座的特殊支撐和緊固設(shè)計(jì)，可以將高壓負(fù)載下閥座的變形量和背壓條件下閥座的提升量減至 小
• 氣體流道中午任何滑動(dòng)、旋轉(zhuǎn)及摩擦部件，杜絕污染
• 進(jìn)氣口喇叭型設(shè)計(jì)，增強(qiáng)氣體流通，便于清潔和吹掃凈化
• 進(jìn)出氣口使用所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
• 執(zhí)行器能夠被鎖定在關(guān)閉位置，防止運(yùn)輸過(guò)程中因震動(dòng)而引發(fā)泄漏
• 適用常規(guī)閥門(mén)保護(hù)管帽
• 出氣口采用鏈條式管帽密封，有效避免管帽遺失
• 雙重密封閥門(mén)結(jié)構(gòu)，安全可靠

技術(shù)說(shuō)明：

• 工作壓力：3300 psig （230 bar ）
• 適用氣體：工業(yè)和特種氣體 （包括有毒氣體、腐蝕氣體和氧氣）
• 孔徑：4mm
• 工作溫度：-20°C ~ 65°C （-4°F ~ 150°F）
• 閥體泄漏率：小于1x10^-9 mbar l/s （200 bar He）
• 閥座泄漏率：小于1x10^-8 mbar l/s （200 bar He）
• CV：0.3

結(jié)構(gòu)材料 ：

• 母體：316L VAR （ Hastelloy^®, Monel^® 可選）
• 閥座：PTCFE, Kynar^®, Vespel^®, Zytel^®
• 膜片：Elgiloy^®
  
  閥門(mén)氣體流道內(nèi)無(wú)任何潤(rùn)滑。閥座選用氣體相容性 的材料，保證氣體的純度。如有任何關(guān)于材料的問(wèn)題，請(qǐng)聯(lián)系捷銳公司。

執(zhí)行器說(shuō)明 ：

• 常閉設(shè)計(jì)的氣動(dòng)執(zhí)行器通用于所有的鋼瓶閥。在驅(qū)動(dòng)氣源供氣時(shí)閥門(mén)打開(kāi)，在彈簧的作用下閥門(mén)關(guān)閉旋轉(zhuǎn)閥套可以將閥門(mén)鎖定在關(guān)閉位置
• 驅(qū)動(dòng)壓力：70 ~ 120 psig （5 ~ 8 bar）
• 驅(qū)動(dòng)介質(zhì)：空氣或氮?dú)?/li>
• 進(jìn)氣接口：1/8” NPT
• 結(jié)構(gòu)材料：不銹鋼，鎳鋁青銅和高硬度陽(yáng)極化鋁合金

訂購(gòu)指南：